氧化层的厚度对MOS管有什么重要性？

深圳市阿赛姆电子有限公司2025-02-20

氧化层是MOS管栅极绝缘层的重要组成部分。较薄的氧化层可以降低栅极电容，提高MOS管的工作速度，但同时也可能降低MOS管的击穿电压，并且可能导致栅极与半导体之间的隧道效应增强，增加漏电流。相反，较厚的氧化层可以提高击穿电压，但会增加电容，降低高频性能。因此，在MOS管制造过程中，需要精确控制氧化层的厚度以满足不同的应用需求。

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