洁净室半导体设备安装为何要操作气流模拟？

上海笙电电力科技有限公司2025-02-22

操作气流模拟意义重大。洁净室气流要确保均匀、稳定，避免乱流将尘埃带至设备关键部位。通过CFD（计算流体动力学）软件模拟，可提前知晓不同设备布局、通风口位置下气流走向、速度分布。若发现局部涡流、低速区易积尘，及时调整布局，如调整高效过滤器送风口角度、增加导流板。像刻蚀区设备，精确气流能快速带走反应产生杂质，维持洁净环境，保障设备运行精度，提升芯片良率。我们笙电电力科技可提供包括但不限于发电厂、变电站、工业厂房、商业楼宇等设备的安装服务，我司锐意进取，持续创新为各行各业提供专业化服务！

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